페이지 정보 작성자 관리자 댓글 0건 조회 253회 작성일 22-04-01 16:33 Publication 목록 Journal Highly selective and low damage atomic layer etching of InP/InAlAs heterostructures for HEMT fabrication Author : S. D. Park, C. K. Oh, W. S. Lim, H. C. Lee, J. W. Bae, and G. Y. Yeoma, T. W. Kim, J. I. Song, and J. H. Jang Source Applied Physics Letters, 91, pp. 013110, 2007. Year 2007 본문 목록