Journal
Highly Selective and Low Damage Etching of GaAs/AlGaAs Heterostructure using Cl2/O2 Neutral Beam
Author :
B. J. Park, J. K. Yeon, W. S. Lim, S. K. Kang, J. W. Bae, G. Y. Yeom, M. S. Jhon, S. H. Shin, K. S. Chang, J. I. Song, Y. T. Lee, J. H. Jang